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新一代智能UV打印系統——DMD無掩模光刻機

更新時間:2021-11-19 點擊次數:2217

Microlight3D是一家生產用于工業和科學應用的高分辨率微尺度2D和3D打印系統的專業制造商。智能UV打印(SP-UV)系統,是該公司新產品。這是一種配有一個385 nm的紫外LED光源,基于DMD(Digital Micromirror Device)的全新無掩模光刻系統,因此SP-UV可以兼容所有標準的微電子光刻膠,包括微流體應用中*的i-line光阻劑SU-8。這一特點為半導體加工領域的開發人員,在光刻膠材料的選擇上提供了更加廣闊的空間。

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DMD無掩膜光刻機SP-UV的優勢之一是對DMD光學投影技術的應用。這一技術在提高直寫精度和速度的同時,提供了四種不同的直寫分辨率。搭配Microlight3D的“快速切換"物鏡系統,僅需2秒就能完成分辨率切換。

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Microlight3D執行官Denis Barbier表示:“Microlight3D的SP-UV技術可以與更廣泛光刻膠材料相兼容。在為無掩模光刻的應用開拓了新的領域的同時,滿足了開發人員對多功能性和可負擔性的需求。"“我們使芯片實驗室和其他領域(光電子學、MEMS、自旋電子學)的研究人員可以更容易、更快速地在較大表面積上(120x120 mm2),加工微米分辨率的復雜結構。由于該系統集成度非常高,使各種用戶都可以無障礙的使用,我們也因此希望SP-UV在微流體以及各個領域中的小批量生產上開辟新的市場機會。"


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無掩膜光刻機SP-UV的另一大優勢是具備精心挑選的物鏡焦距范圍,以允許較長工作距離(可達3厘米)。這意味著SP-UV可以用于非標準基底,包括那些彎曲(比如光學鏡片)、柔性或者較厚的。而競品機型的工作距離通常較短,在處理非平坦基底時非常困難。

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無掩膜光刻機SP-UV的385nm紫外光源配有一個反饋相機,使聚焦更容易,并同時用于檢查和校準。作為一種新的投影技術,385nm的LED光源與高性能電動位移臺相結合,使開發人員能夠在微米分辨率的水平上 進行快速微結構制造。

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該系統配套的高性能電動位移臺,提高了準精度的同時,也降低了拼接誤差。設備核心被封裝在具有紫外線保護的包裝的空間內,使其可以在通常環境下安全使用。


無掩膜光刻機SP-UV可以達到目前直寫速度等級(高達1000mm2/min);當分辨率為6μm時,其速度是其他品牌類似產品的兩倍,而當分辨率為15μm時,其速度可達其他品牌類似產品的10倍。


關于生產商:

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Microlight3D是高分辨率 微尺度 2D和3D打印系統的專業制造商。Microlight3D致力于滿足科學家和工業研究人員新的設計加工需求,以及高精度生產任何幾何或非幾何形狀的微型零件。通過結合2D和3D微納打印技術,Microlight3D為客戶提供了制造更大尺寸復雜部件的靈活性。它的目標是為未來的新興領域提供更快、更復雜的微型制造系統。Microlight3D的設備現用于微光學、微流體、微機器人、超材料、細胞生物學和微電子學等。

Microlight3D在2016年成立于法國格勒諾布爾,在Grenoble Alpes大學(UGA)進行了超過15年的3D微納打印技術研發。


上海昊量光電作為Microlight3D在中國大陸地區大的代理商,為您提供專業的選型以及技術服務。對于Microlight3D有興趣或者任何問題,都歡迎通過電話、電子郵件與我們聯系。


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